Cuando se trata de la compañía holandesa ASML, todos saben que son el único proveedor de máquinas de litografía EUV en el mundo, y la producción de procesos de 7 nm y menos depende de su equipo. Sin embargo, ASML no es solo una poderosa máquina de litografía. Hoy anunciaron otro nuevo producto: la máquina de inspección multihaz HMI de primera generación, HMI eScan1000, que es adecuada para procesos de 5 nm y más avanzados, lo que aumenta la capacidad en un 600%.
Con la mejora continua de la tecnología de procesos, la fabricación de obleas se está volviendo cada vez más compleja, lo que también causará más errores en la oblea. HMI eScan1000 es un sistema de detección basado en la tecnología de haces múltiples de HMI, y también hay complejos subsistemas fotoeléctricos en su interior. Puede generar y controlar múltiples haces de electrones, luego analizar la calidad de la oblea en función de la imagen reflejada del haz de electrones, y tiene una plataforma de alta velocidad para controlar el número de obleas probadas, y un sistema informático para procesar los datos del haz de electrones.
En pocas palabras, la máquina HMI eScan1000 desarrollada por ASML es un sistema para verificar la calidad de las obleas producidas por procesos avanzados. Cuanto más avanzado es el proceso, más importante es el sistema de inspección. Su precisión de inspección y rendimiento determinan la eficiencia de la producción.
El gran avance de HMI eScan1000 de ASML es que puede generar y controlar simultáneamente nueve haces de electrones, por lo que la capacidad de producción se ha incrementado en un 600%, lo que puede reducir en gran medida el tiempo utilizado para el análisis de calidad de la oblea.
En la actualidad, HMI eScan1000 se puede utilizar para probar obleas de procesos avanzados de 5 nm y menos. Se ha entregado a los clientes para su prueba y verificación. En el futuro, ASML también lanzará más equipos de prueba de haz para cumplir con los requisitos de los clientes para procesos avanzados.